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            北方华创正式推出NMC612G 12英寸金属刻蚀机 助力多领域刻蚀工艺发展

              ??在2020年SEMICON CHINA展览会上,北方华创正式发布了NMC612G 12英寸金属刻蚀机。该设备具有优秀的刻蚀均匀性调节能力与良好的颗粒管控能力,可满足集成电路、功率半导体、硅基微显示等领域的金属刻蚀需求。

              ??NMC612G 12英寸金属刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机,具有多种均匀性控制手段,如电流分布控制技术、气体比例控制技术、静电卡盘温控技术等,为客户提供了多种均匀性调节选择,拓宽了工艺空间。其中,静电卡盘及传输系统不但适用于常规硅片的传输,也适用于不同领域的玻璃片、SOG片等晶圆的传输及吸附,可多元化满足各领域多种需求。此外,针对刻蚀后残留气体导致的金属腐蚀问题,该设备采用微波去胶技术,利用O2产生等离子体,可以较高的速率实现不同金属刻蚀后PR掩膜的去除,并保证金属长期存放过程中不被腐蚀。

              


              ??目前NMC612G金属刻蚀机已经成功进入集成电路、功率半导体、硅基微显示等领域的多家生产线,其良好的工艺性能和更低的拥有成本,正在助力客户大规模量产。未来,北方华创也将继续聚焦行业前沿,紧跟市场需求,“以客户需求为导向”,持续推进新设备进入多方领域市场,引领刻蚀工艺发展。


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